型號 ESA 干式真空泵，可排出氫氣等輕質(zhì)氣體，可對大腔室進行高速排氣 用于高速排氣的大型真空室 有機溶劑兼容選項 氫氣等輕質(zhì)氣體的排放 耐腐蝕材料選項 油 提供 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL 研究設(shè)備的理想選擇 特定化學(xué)物質(zhì)的吸附

ESA 型號陣容包括排量為 1,400 L/min ~ 10,000 L/min 的排量型號，適用于排氣氫氣等輕質(zhì)氣體，以及排量為 20,000 L/min ~ 80,000 L/min 的型號，適用于大室的高速排氣。 適用于低于 10,000 L/min 的輕型氣體排放，提供緊湊的設(shè)計和耐腐蝕材料選項，使其成為 MO-CVD 等高流量輕型氣體排放應(yīng)用的理想選擇。 大型型號盡管排量大，但仍能實現(xiàn)安靜的噪音和低振動，并且可以選擇排出有機溶劑的選項，使其成為 LCD 濺射設(shè)備、真空干燥工藝、大負(fù)載鎖等的理想選擇。