Osaka Vacuum大阪真空磁浮軸承式復(fù)合分子泵TG1307M

Osaka Vacuum大阪真空磁浮軸承式復(fù)合分子泵TG1307M

新型磁浮軸承型渦輪分子泵 TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M 的特點 省電設(shè)計 運行數(shù)據(jù)、觸地計數(shù)、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數(shù)據(jù)。 各種通信規(guī)格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT 國際標準：NRTL/SEMI-S2/CE 半導(dǎo)體制造設(shè)備 FPD 制造設(shè)備 太陽能電池制造設(shè)備 玻璃和鏡頭等光學(xué)元件的加工 薄膜加工 加速器/空間環(huán)境試驗設(shè)備